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MKS质量流量控制器产品概述：
①电容压力计是可以测量压力和真空度的机电式压力计。电容表将薄膜中的压力调制运动转换成与压力成比例的电信号。压力传感器是薄的隔膜，通过入口管暴露在压力或真空下。电极安装在隔膜后面的参考腔中。过程与参考腔之间的压力差会使隔膜稍微偏斜，从而改变了隔膜与电极之间的距离。该距离的变化会在隔膜和电极之间产生电容变化，从而产生与压力变化成比例的电信号。
②AA07A/AA08A传感器非常适合用于将超纯气体供入关键过程系统的输送系统。它们暴露在气流中的湿表面的表面光洁度比Ra好5µin。这些换能器具有出色的干燥特性，并且在背景以上没有颗粒。在制造和组装后，将它们用超净氮气吹扫，然后在100级环境中进行两次装袋。
③AA07A/AA08A中的传感器采用全Incoloy®结构，可实现较高的过压容限，从而减少了由于管路压力峰值而引起的误差。高爆破压力等级有助于整体系统安全。在现有的气柜和处理系统上，由于体积小，行业标准的端到端长度以及这些传感器的电气接口选择，使得更换普通百分表或性能较低的传感器变得容易。